EDX分析原理和仪器结构组成

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 EDX分析原理和仪器结构组成 

1） 分析原理：X射线能量色散仪的基本原理是以 高能X射线（一次X射线）轰击样品，将待测元素原子内 壳层的电子逐出，使原子处于受激状态，10-12～10-15秒 后，原子内的原子重新配位，内层电子的空位由较外层 的电子补充，同时放射出特征X射线（二次X射线）。特 征X射线波长和原子序数有一定关系，测 定这些特征谱线的波长或能量可作定性分析；测量谱线 的强度，可求得该元素的含量。

2） 仪器结构组成：由多色光源（X射线管）、试样架、半导体检测器和不同的用于能量选择的电子元件。

1. 优缺点

1） 优点：A.能快速的提供样品包含的各种元素的定性分析及质量百分比浓度

B.样品制作简单，对固体可直接分析，且不损样品

2） 缺点：A.只能做元素定性和半定量分析，不能分析元素以何种形式存在

B.对于有害的非金属物质不能作为裁决性分析

C.不能分析原子序数小于5的元素

D.对标准样很严格

E. XRF使用射线，对人体有害。因此所有产生射线的仪器必须根据制造厂商提供的安全指导以及当地的法规来操作。

1. 基本功能和仪器用途

1） 该仪器对分析样品要求低，固体块状，粉状，金属等都可直接分析，而不需要溶样、分析速度快。不损坏样品；故广泛用于新型材料，钢铁冶金、有色金属、化工、环境、电子等部门。

2） 与我们制程产品相关的有：所有制程若怀疑因出现异物造成异常情形时，EDX都可作为辅助检测方法。

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