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一、 XRF测厚
1. X射线测厚原理:
对于平滑均匀的无限厚试样,分析线强度是分析元素浓度的函数;对于平滑均匀厚度小于临界值(X射线所能穿透的最大厚度,即饱和厚度)的试样,分析线强度则是分析元素浓度和样品厚度的函数。如果样品是纯元素或其组成不变,则分析线强度仅仅是样品厚度的函数。
2. 优缺点
1) 优点:A.快速测量镀层厚度
B.操作简便,不损样品。
2) 缺点:A.每种样品测量需校正
B.对标准样很严格
3. 基本功能和仪器用途
1) 广泛应用各行业厚度测量
2) 与我们制程产品相关的有:化银,电镀铜
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