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XRF测厚仪使用原理

发表于:2019-12-13 来源:www.chempx.com

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一、 XRF测厚

1. X射线测厚原理:

                           

对于平滑均匀的无限厚试样,分析线强度是分析元素浓度的函数;对于平滑均匀厚度小于临界值(X射线所能穿透的最大厚度,即饱和厚度)的试样,分析线强度则是分析元素浓度和样品厚度的函数。如果样品是纯元素或其组成不变,则分析线强度仅仅是样品厚度的函数。

2. 优缺点

1) 优点:A.快速测量镀层厚度

         B.操作简便,不损样品。

2) 缺点:A.每种样品测量需校正

         B.对标准样很严格

3. 基本功能和仪器用途

1) 广泛应用各行业厚度测量

2) 与我们制程产品相关的有:化银,电镀铜

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